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NTIS 바로가기한국소음진동공학회 2005년도 추계학술대회논문집, 2005 Nov. 01, 2005년, pp.75 - 78
정순철 (중앙대학교 기계공학부) , 이성혁 (중앙대학교 기계공학부) , 이재응 (중앙대학교 기계공학부) , 지홍규 (삼성전자 메카트로닉스 연구소) , 이동진 (삼성전자 메카트로닉스 연구소) , 류제형 (삼성전자 메카트로닉스 연구소) , 최형길 (삼성전자 메카트로닉스 연구소) , 김혁 (삼성전자 메카트로닉스 연구소)
In this paper, an experimental study on porous air bearing stiffness for ultra precision positioning system was performed. In general manufacturer provide bearing stiffness under specific air pressure, but the air pressure used in the field is different. Therefore it is necessary to know the stiffne...
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