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Development Of Active Vibration Isolation System Using Fuzzy Method
퍼지 방법을 이용한 능동 방진 시스템의 개발 원문보기

한국소음진동공학회 2007년도 추계학술대회논문집, 2007 Nov. 15, 2007년, pp.731 - 736  

Yang, Xun ,  An, Chae-Hun ,  Jin, Kyoung-Bog ,  Rim, Kyung-Hwa

초록
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최근 반도체 및 디스플레이 산업 등에서 초정밀 가공 및 측정에 방진 시스템을 많이 필요로 한다. 기존에 소개된 여러 방진 시스템 중에서 가장 많이 연구되는 공기스프링은 압축 공기를 이용하여 큰 하중을 지지할 수 있으면서 상대적으로 낮은 강성으로 낮은 고유진동수를 유지할 수 있다. 본 연구는 Takagi-Sugeno 퍼지 방법을 이용해서 능동 방진 시스템을 설계한다. 공기의 비선형 특성에 기인하는 복잡한 비선형 시스템 제어에 PID 제어기 보다 유리한 퍼지 제어기를 설계하였고, 실험과 해석을 비교하였다.

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Vibration isolation equipments are mostly required in precise measurement and manufacturing system. Among all the vibration isolation system, air-spring is the most widely used equipment because of low resonant frequency and high damping ratio. In this study, Takagi-Sugeno fuzzy method is used to de...

AI 본문요약
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성능/효과

  • In this paper through our study, a fuzzy controller using Takagi-Sugeno method is designed for active vibration isolation system. From the numerical results we could see, the developed control method using fuzzy controller could be verified to be better than other controller both for one degree of freedom and three degree of freedom system. So does the experiment, fuzzy controller could got more effective result.
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