최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2004년도 춘계학술대회 발표 논문집, 2004 May 01, 2004년, pp.129 - 131
채교석 (한양대학교, 나노 SOI 공정 연구소) , 김석구 (한양대학교, 나노 SOI 공정 연구소) , 김신득 (한양대학교, 나노 SOI 공정 연구소) , 안정훈 (한양대학교, 나노 SOI 공정 연구소) , 박재근 (한양대학교, 나노 SOI 공정 연구소)
*원문 PDF 파일 및 링크정보가 존재하지 않을 경우 KISTI DDS 시스템에서 제공하는 원문복사서비스를 사용할 수 있습니다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.