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처짐저감을 위한 OLED 증착 마스크-프레임 구조체 원문보기

한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회, 2007 June 08, 2007년, pp.164 - 168  

문병민 (순천향대학교 기계공학과) ,  정남희 (순천향대학교 기계공학과) ,  조창상 (순천향대학교 기계공학과) ,  김국원 (순천향대학교 기계공학과)

Abstract AI-Helper 아이콘AI-Helper

Deformation of a shadow mask is one of the problems encountered during the deposition of organic materials for manufacturing large size OLED. The larger the glass substrate, the larger the shadow mask becomes. But as the size of the shadow mask increases, its deformation becomes more severe, thereby...

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문제 정의

  • 본 연구는 0LED의 증착 공정에서 새도우 마스크의 처짐을 개선하기 위한 방법을 제시하였다. 양쪽프레임의 각도를 주어 마스크에 곡률을 줌으로써 마스크의 전체적인 편평도를 개선하는 것을 실험적으로 증명하였다.
  • 본 연구에서는 대면적 OLED를 제작하기 위한 새도우 마스크의 자중에 의한 처짐 문제를 해결하기 위한 논문으로써, 새로운 마스크-프레임 설치구조를 제안하고 실험을 통하여 제안된 처짐저감 방안의 타당성을 검증하였다.
  • 본 연구에서는 이러한 문제점을 해소하기 위한 것으로, 그림 2와 같이 프레임을 H빔 형태로 만들고마스크와 프레임을 끼우는 방안을 고안하였다. 이때 프레임 안쪽에 위쪽으로 휘어진 일전한 각도의 홈의 형태로 만들어 마스크가 평평하게 끼워지지 않고 약간의 각도를 가지게 되어 처짐이 감소하게 된다.
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