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NTIS 바로가기한국반도체및디스플레이장비학회 2007년도 춘계학술대회, 2007 June 08, 2007년, pp.207 - 210
김상모 (경원대학교 전기공학과) , 임유승 (경원대학교 전기공학과) , 금민종 (플라즈마 응용 표면 기술센터) , 김경환 (경원대학교 전기공학과)
We prepared Al doped ZnO/Ag/Al doped ZnO on the polymer substrate by Facing Target Sputtering (FTS). FTS featured Facing Target Sputtering featured that deposition is stable at the low pressure, it has high plasma density and suppresses the substrate damage from energetic particles. We fixed to 50nm...
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