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넓은 선폭을 지닌 광원을 이용한 굴절률 분산 효과와 분석
Dispersion effect of refractive index measurement and its analysis by using a broad light source spectrum 원문보기

한국광학회 2006년도 하계학술발표회 논문집, 2006 July 01, 2006년, pp.205 - 206  

육영춘 (3D나노광이미징시스템연구단, 광주과학기술원 정보통신공학과) ,  김덕영 (3D나노광이미징시스템연구단, 광주과학기술원 정보통신공학과)

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문제 정의

  • 본 논문에서는 넓은 선폭을 지닌 광원을 이용한 광소자 단면의 굴절률 측정에 있어서 파장과 선폭에 따른 분산효과를 계산하였고 이에 따른 error level을 조사하였다. 658nm 중심파장과 100nm이하의 선폭인 광원과 긴파장의 광원인 경우에는 error level이 크지 않음을 확인 할 수 있었다.

가설 설정

  • (b)의 index dispersion의 기울기와 연관이 있다.
  • 중심파장은 658nm 이고 FWHM은 대략 10nm 이다. 그림에서 알 수 있듯이 광원의 스펙트럼이 가우시안 모양을 하고 있어서 본 계산에서는 입사빔의 모양을 가우시안으로 가정하고 계산하였다. 그림1(b)는 Sellmeier equation에 의한 silica glass의 index dispersion 그림이다.
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