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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2008년도 추계학술대회 논문집 Vol.21, 2008 Nov. 06, 2008년, pp.260 - 261
김대현 (경원대학교) , 김상모 (경원대학교) , 최형욱 (경원대학교) , 김경환 (경원대학교)
In this study, we investigated the properties of Indium Zinc Oxide (IZO) films prepared in facing targets sputtering (FTS) system at room temperature as function of oxygen contents. As as-deposited films were rapidly thermal annealing on air atmosphere of
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