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Annealing Effect on the Crystal Structure of $TiO_2$ Thin Film
이산화티타늄 박막의 열처리에 따른 결정구조 분석 원문보기

한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집 Vol.10, 2009 June 18, 2009년, pp.213 - 213  

Kim, Seon-Hoon (KOPTI) ,  Yang, Myung-Hak (KOPTI) ,  Kim, Tae-Un (KOPTI) ,  Ki, Hyun-Chul (KOPTI) ,  Kim, Doo-Gun (KOPTI) ,  Han, Myung-Soo (KOPTI) ,  Ko, Hang-Ju (KOPTI) ,  Kim, Hyo-Jin (KOPTI) ,  Kim, Hwe-Jong (KOPTI)

Abstract ▼ AI-Helper 아이콘AI-Helper

Titanium dioxide ($TiO_2$) thin films were prepared on glass substrates by ion-assisted electron-beam evaporation with 200nm thickness and subsequently crystallized by rapid thermal annealing at the rage of $200{\sim}700^{\circ}C$ in flowing $N_2$ gas. The crystal st...

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