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NTIS 바로가기한국전기전자재료학회 2005년도 춘계학술대회 논문집, 2005 May 27, 2005년, pp.29 - 32
나문경 (한국전기연구원) , 강동필 (한국전기연구원) , 안명상 (한국전기연구원) , 명인혜 (한국전기연구원) , 강영택 (한국전기연구원)
Poly (methyl methacrylate) (PMMA) is one of the promising representive of polymer gate dielectric for its high resistivity and sutible dielectric constant. PMMA (Mw=96700) films were prepared on p-Si by spin coating method. PMMA were coated compactively and flatly as observeed by AFM. MIS(Al/PMMA/p-...
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