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논문 상세정보

STD 61 공구강의 표면특성에 미치는 TiN/ZrN 복합코팅막 효과

Effects of TiN/ZrN Composite Film on the Surface Characteristic of STD 61 Tool Steel

초록

본 연구에서는 TiN/ZrN 복합층을 STD 61 공구강 표면에 마그네트론 스퍼터링 (magnetron sputtering) 방법을 이용하여, 표면온도, 스퍼터링 파워, 시간, 버퍼층의 두께에 따른 변수를 두어 실험하였다. 표면 특성을 알아보기 위해 OM, FE-SEM, AFM, EDS, XRD, XRR 그리고, 긋기 및 나노경도 시험을 시행하였다.

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