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편심하중을 갖는 정밀 Gantry Stage의 진동제어
Vibration Control of Precision Equipment with Moving Gantry Stage 원문보기

한국소음진동공학회 2010년도 추계학술대회 논문집, 2010 Oct. 27, 2010년, pp.443 - 444  

이규섭 (알엠에스테크놀러지(주)) ,  한현희 (알엠에스테크놀러지(주)) ,  이홍기 (알엠에스테크놀러지(주)) ,  백재호 (알엠에스테크놀러지(주))

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문제 정의

  • 반면에 작동기로 사용되는 mount 부에 직접 센서가 부착되는 경우에는 계산시간 소요는 없으나 4점 지지의 경우 12개의 센서가 소요된다. 본 논문에서는 3축 센서의 출력과 좌표변환식을 이용하는 방법으로 작동기 위치에서의 운동을 예측하는 방법을 제시한다. 이 방법은 Gantry 이동에 따른 무게중심 변동을 계산하기 위하여 Gantry 운동 servo 계의 정보를 가져와야 하는 번거로움과 센서 gain 및 설치위치의 정확도 등이 출력값에 직접 영향을 주는 단점이 있으나 능동형 시스템의 경제적 구성에 도움이 될 것으로 판단된다.
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