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한국소음진동공학회 2012년도 춘계학술대회 논문집, 2012 Apr. 26, 2012년, pp.875 - 880
신동호 (경기대학교 대학원 기계공학과) , 이정우 (경기대학교 대학원 기계공학과) , 이종원 (한양대학교 대학원 기계공학과) , 오재응 (한양대학교 기계공학부) , 이정윤 (경기대학교 기계시스템공학과)
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According to the fixation detailed drawing and lightweight anger tendency of the product the vibration control of precision equipments is essential and establishes under the equipments. so It is important to know vibration characteristics of vibration isolator. For this reason the accelerometer atta...
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| 핵심어 | 질문 | 논문에서 추출한 답변 |
|---|---|---|
| 가속도 센서는 제진대에 어디에 부착되어 있는가? | 제진대는 바닥에 스프링과 댐퍼로 고정되어 있고 가속도 센서는 제진대 윗면에 부착되어 있다. 따라서 제진대와 가속도 센서는 Fig. | |
| 정밀 장비들의 진동 제어를 위해 무엇을 설치하는가? | 특히 반도체 산업 등과 같은 다양한 나노 산업들은 공정의 결과가 성능이 우수한 장비에 의해 좌우되며 이러한 산업에서 사용되고 있는 정밀 장비들의 미세 진동은 공정에 많은 영향을 주게 된다. 따라서 이러한 정밀 장비들의 진동 제어가 필수적이라 할 수 있으며 이를 위하여 장비 하부에 제진대를 설치한다. | |
| 정밀 장비들의 진동 제어가 필수적인 이유는? | 산업이 성장함에 따라 제품의 고정밀화 및 경량화의 추세를 보이고 있다. 특히 반도체 산업 등과 같은 다양한 나노 산업들은 공정의 결과가 성능이 우수한 장비에 의해 좌우되며 이러한 산업에서 사용되고 있는 정밀 장비들의 미세 진동은 공정에 많은 영향을 주게 된다. 따라서 이러한 정밀 장비들의 진동 제어가 필수적이라 할 수 있으며 이를 위하여 장비 하부에 제진대를 설치한다. |
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