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스핀코팅 방법으로 제작된 ZnO 박막의 단계적 후열처리에 따른 구조적 및 광학적 특성 원문보기

한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집, 2014 Feb. 10, 2014년, pp.290.1 - 290.1  

문지윤 (인제대학교 나노공학부) ,  남기웅 (인제대학교 나노융합공학과) ,  박선희 (인제대학교 나노공학부) ,  박영빈 (인제대학교 나노공학부) ,  박형길 (인제대학교 나노융합공학과) ,  윤현식 (인제대학교 나노융합공학과) ,  김영규 (인제대학교 나노공학부) ,  지익수 (인제대학교 나노공학부) ,  김익현 (인제대학교 나노공학부) ,  김동완 (인제대학교 나노공학부) ,  김종수 (영남대학교 물리학과) ,  김진수 (전북대학교) ,  임재영

초록
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스핀코팅방법으로 증착된 ZnO 박막의 단계적 후열처리에 따른 구조적, 광학적 특성에 관한 연구를 수행하였다. 일반적으로 ZnO 박막은 한 층을 증착한 후에, 유기물을 제거하기 위하여 전열처리를 수행한다. 본 연구에서는 ZnO 박막을 전열처리와 후열처리를 동시에 단계적으로 수행하였다. X-ray diffractometer, UV-visible spectrometer, photoluminescence를 이용하여 ZnO 박막의 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. 모든 시료에서 표면은 직경이 약 20 nm인 둥근 입자들로 이루어져 있었다. X-ray diffraction 패턴은 $31^{\circ}$, $34^{\circ}$, $36^{\circ}$에서 나타났고, 이것은 각각 ZnO의 (100), (002), (101) 방향을 보여준다. 전열처리와 후열처리를 동시에 수행했을 경우, 자유엑시톤 재결합에 의해 3.2 eV에서 좁은 near-band-edge emission 피크가 나타났으며, 투과도 또한 향상되었다.

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