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삼중탐침과 단일탐침에 의한 RF, DC, RF＋DC 플라즈마의 특성비교 원문보기

한국원자력학회 1996년도 추계학술발표회논문집(2), 1996 Nov. 01, 1996년, pp.675 - 680  

최용섭 (한양대학교) ,  정규선 (한양대학교) ,  장두희 (한양대학교) ,  심연근 (한양대학교) ,  김진희 (한양대학교)

초록
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필라멘트 직류 가열 방식에 의한 DC 플라즈마, Capacitive RF 플라즈마, 그리고 DC＋RF 혼성 플라즈마를 발생시켜서, 삼중탐침과 단일탐침으로 측정비교하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 또한 두 개의 온도분포가 존재할 때 단일 탐침과 삼중탐침을 비교하여 삼중탐침이 energetic electron 포집함을 알 수 있었다.

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