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문제 정의
- 개발된 EDA 시스템은 AutoFOUP 장비 정보의 수집을 위해 XML 기반의 SOAP 를 통해 반도체 장비의 메타데이터 데이터 수집하며, WCF 웹서비스로 개발한다. WCF 웹서비스는 상호운영성 및 확장성의 제약점을 해결하고 SEMI EDA 응용은 높은 상호운영성을 갖는 반도체 장비 센싱 및 데이터 수집 시스템 개발에 적용하는 것을 목적으로 한다.
- 구성된 EDA 시스템은 상호운영성 및 확장성을 갖는 분산 환경을 지원할 수 있도록 WCF 프로그래밍 환경에서 E125를 WCF 서비스로 구성하였다 개발된 EDA 시스템은 반도체 제조 공정에서 웹서비스 기술을 활용하며 이기종 운영 플랫폼에서 웹서비스의 유용성을 제시하였다. 본 연구의 결과는 전통적인 반도체 제조 응용환경 체계를 웹서비스체계로 변환 시 표준화된 기술과 상호운영성의 장점을 제공한다.
- 이 논문에서는 반도체 스마트 팩토리의 환경 구축을 위해 필요한 EDA 시스템의 구성을 기술하였다. 이를 위해 SEMI 표준을 기반으로 반도체 세정장비 AutoFOUP의 장비 구성 정보를 EDA 시스템으로 수집한다.
- 이 논문에서는 반도체 스마트 팩토리의 환경 적용을 위해 필요한 EDA(Equipment Data Acquisition) 시스템의 구성을 기술한다. 또한 SEMI 표준을 기반으로 반도체 세정장비 AutoFOUP의 장비 구성 정보를 수집하는 EDA 시스템의 프로토타입을 설계한다.
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