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NTIS 바로가기한국표면공학회 2016년도 추계학술대회 논문집, 2016 Nov. 17, 2016년, pp.150 - 150
신민호 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실) , 김병준 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실) , 박영배 (국립안동대학교 신소재공학부 청정에너지소재기술연구센터) , 김도근 (재료연구소(KIMS) 표면기술연구본부 플라즈마공정연구실)
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