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PEDCVD법을 이용한 DLC코팅 특성 연구
Study on characteristics of DLC coating by PECVD 원문보기

한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집, 2015 May 07, 2015년, pp.188 - 189  

전예슬 (한국 생산기술연구원 열처리그룹) ,  이나래 (한국 생산기술연구원 열처리그룹) ,  문경일 (한국 생산기술연구원 열처리그룹) ,  이선영 (한양대학교 재료공학과)

초록
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본 연구에서는 저온에서 증착이 가능한PECVD법을 이용하여 아르곤 가스 및 아세틸렌 가스 비율에 따른 기계적 구조적 특성 확인을 확인 후 공정압력 변화 실험을 통하여 DLC코팅의 특성을 확인하였다. 기계적 특성을 확인하기 위하여 나노인덴터를 이용하여 경도 및 탄성률을 측정하였으며, ball-on disk를 이용하여 마찰계수를 확인하였다. 각 샘플들의 부식 저항 특성을 확인하기 위하여 $1mole\;H_2SO_4+2ppm\;HF$ 분위기의 전해질 내에서 동전위 분극시험을 통한 내식성 테스트를 하였으며, 구조적 특성은 라만분광법을 이용하여 박막내의 sp3와 sp2 bond의 비율 변화를 확인하였다.

AI 본문요약
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문제 정의

  • 본 연구에서는 Ar : C2H2가스 비율 실험을 통하여 기계적 ∙ 구조적 특성 확인 후, 가능성 높은 비율을 택하여 공정압력 변화에 따른 DLC 코팅특성을 확인하고자 하였다. DLC공정을 진행하기 전, 모든 시편을 메틸 알코올을 이용하여 약 10분간 초음파 세척을 하여 불순물을 제거하고, 챔버 내에 Ar분위기에서 pre-sputter -500V(bias)전압을 이용하여 30분간 이온세정을 실시하였다
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