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플렉시블 디스플레이용 산화물 박막트랜지스터 기술
Technology on Oxide Thin Film Transistor for Flexible Display 원문보기

한국표면공학회 2018년도 춘계학술대회 논문집, 2018 June 13, 2018년, pp.50.1 - 50.1  

정우석 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹) ,  최호열 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹) ,  김영회 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹) ,  이준민 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹) ,  홍찬화 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹) ,  곽영진 (한국전자통신연구원 ICT소재부품연구소 융복합센서연구그룹)

초록
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산화물 반도체 기반 박막 트랜지스터가 국내에서 본격적으로 연구 개발 된 지 10년 만에 대면적 OLED TV에 적용되었다. 전기적인 신뢰성뿐만 아니라, 광학적 신뢰성도 검증되어, 앞으로 산업계에서 그 적용 확대가 기대되고 있는 상황이다. 그렇지만, 향후 큰 성장이 예상되는 고해상도 플렉시블 디스플레이에 적용 가능한 높은 수준의 전기적 특성뿐만 아니라, 저온공정도 만족시킬 수 있는 박막 트랜지스터 개발이 필요한 실정이다. 이러한 측면에서 LTPS, 유기물 박막 트랜지스터에 비해, 산화물 박막 트랜지스터는 250도 이하의 저온공정에서도 고이동도 및 고신뢰성을 확보할 수 있는 좋은 대안이 될 수 있을 것이다. 본 강연에서는 플렉시블 기판에 적용 가능한 산화물 박막 트랜지스터 기술 및 개발 동향에 대해 발표할 예정이다.

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