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문제 정의
- 따라서 본 논문에서는 리액터에 의한 LCL 네트워크의 단점을 보안하며 플라스마 부하의 특성인 Drop out 현상의 영향을 받지 않고 출력전류를 제어할 수 있는 플라스마 부하의 적합한 공진네트워크를 설계하고, 설계된 공진네트워크의 타당성을 시뮬레이션을 통해 검증한다.
- 본 논문에서는 플라스마 부하의 특성인 Drop out 현상에 관한 분석을 통해 기존 공진네트워크 설계시 문제점을 밝히고 이를 해결하기 위해 위상천이 제어를 고려해 LCCL 공진네트 워크를 설계하였다. 설계된 공진네트워크의 타당성을 검증하기 위해 시뮬레이션을 진행하였고 위상천이 제어를 통해 인버터가 출력사양을 만족하도록 제어되는 것을 확인하였다.
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