선택한 단어 수는 입니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
선택한 단어 수는 30입니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
문제 정의
- 기존의 고주파 전원모듈은 중출력급에 속하며, 3상 220V 전원에서 입력전류 100A 미만으로, 그 이상의 대출력 고주파전원모듈은 기존 부품 및 시설의 한계로 인하여 전원을 400V 계열로 변경이 필요하다. 본 논문에서는 400V 전원을 기반으로 파워 모듈을 설계 제작하였다.
- 태양광5세대 및 LCD 8세대 이상의 챔버는 그 내부 체적이 대단히 커지므로 일정시간 내부 세정을 위한 활성종의 공급량도 이에 맞게 다량 요구되어 진다. 본 논문에서는 대용량의 가스에 맞게 고분해율을 유지하며 안정적인 성능을 유지할 수 있는 고출력 Generator을 소개하였으며, LCD 및 태양광 전공정장비의 핵심부품 개발을 통하여 전 공정 장비의 국산화율을 높일 수 있으며, 이는 제조장비의 원가경쟁력으로 이루어질 것으로 기대한다.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.