$\require{mediawiki-texvc}$
  • 검색어에 아래의 연산자를 사용하시면 더 정확한 검색결과를 얻을 수 있습니다.
  • 검색연산자
검색연산자 기능 검색시 예
() 우선순위가 가장 높은 연산자 예1) (나노 (기계 | machine))
공백 두 개의 검색어(식)을 모두 포함하고 있는 문서 검색 예1) (나노 기계)
예2) 나노 장영실
| 두 개의 검색어(식) 중 하나 이상 포함하고 있는 문서 검색 예1) (줄기세포 | 면역)
예2) 줄기세포 | 장영실
! NOT 이후에 있는 검색어가 포함된 문서는 제외 예1) (황금 !백금)
예2) !image
* 검색어의 *란에 0개 이상의 임의의 문자가 포함된 문서 검색 예) semi*
"" 따옴표 내의 구문과 완전히 일치하는 문서만 검색 예) "Transform and Quantization"
쳇봇 이모티콘
안녕하세요!
ScienceON 챗봇입니다.
궁금한 것은 저에게 물어봐주세요.

특허 상세정보

단결정 제조 장치 및 이를 이용한 단결정 제조방법

국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판) C30B-015/10   
출원번호 10-1996-0058798 (1996-11-28)
공개번호 10-1997-0043344 (1997-07-26)
등록번호 10-0445862-0000 (2004-08-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960058798
발명자 / 주소
출원인 / 주소
대리인 / 주소
  • 특허법인 씨엔에스·로고스; 전준항 (C&S·LOGOS PATENT AND LAW OFFICE)
  • 서울 서초구 서초동****-** 서초평화빌딩 **층; 서울 강남구 도곡*동 ***-* 대림아크로텔 ****호
심사청구여부 있음 (2001-08-13)
초록

CZ 또는 MCZ법에 의한 단결정제조용 새로운 장치가 제공되며, 이 장치는 내부에 실리콘 용융물을 함유하는 도가니, 단결정을 인상시키는 위한 와이어 릴과 와이어, 모터 및 도가니로 회전시키는 회전축을 포함하며, 상기 모터와 회전축사이에는 속도변환장치가 삽입되고 필요하면 용융물에 장기장을 인가하는 장기장 발생기를 포함한다. 상기 장치에 의하면 도가니의 회전정밀도가 개선되고 이에 따라 인상된 단결정내의 불순물 농도를 아주 정밀하게 제어할 수가 있다.

대표
청구항

내부에 실리콘 용융물을 함유하는 도가니(용기); 상기 도가니로부터 단결정을 인상(引相)하는 인상수단; 및 상기 도가니를 회전시키고 속도변경수단이 장차괸 도가니 회전수단; 을 포함하는 쵸코랄스키법에 의한 단결정제조장치