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연합인증

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단결정 제조 장치 및 이를 이용한 단결정 제조방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C30B-015/10
출원번호 10-1996-0058798 (1996-11-28)
공개번호 10-1997-0043344 (1997-07-26)
등록번호 10-0445862-0000 (2004-08-17)
DOI http://doi.org/10.8080/1019960058798
발명자 / 주소
  • 교우지 기따가와 / 일본, 군마-껭, 안나까-시, 이소베, *-**-**, 비***
  • 교우지 미즈이시 / 일본, 군마-껭, 안나까-시, 이보세, *-**-*
  • 마사히꼬 우라노 / 일본, 군마-껭, 다까사끼-시, 시모와다-쪼, *-*-*
  • 겐지 아라끼 / 일본, 군마-껭, 안나까-시, 이소베, *-**-**, 디***
  • 에이찌 이이노 / 일본, 군마-껭, 안나까-시, 오우바라, ***-*, 에이-*
  • 이쯔미 후세가와 / 일본, 후꾸시마-껭, 니시시라까와-군, 니시고-무라, 오하자-오다꾸라, 아자-오히라, ***-*, 에이 ***
출원인 / 주소
  • 신에쯔 한도타이 가부시키가이샤 / 일본 도쿄토 치요다쿠 오테마찌 *쵸메 *-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 씨엔에스·로고스; 전준항 (C&S·LOGOS PATENT AND LAW OFFICE)
  • 서울 서초구 서초동****-** 서초평화빌딩 **층; 서울 강남구 도곡*동 ***-* 대림아크로텔 ****호
심사청구여부 있음 (2001-08-13)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

CZ 또는 MCZ법에 의한 단결정제조용 새로운 장치가 제공되며, 이 장치는 내부에 실리콘 용융물을 함유하는 도가니, 단결정을 인상시키는 위한 와이어 릴과 와이어, 모터 및 도가니로 회전시키는 회전축을 포함하며, 상기 모터와 회전축사이에는 속도변환장치가 삽입되고 필요하면 용융물에 장기장을 인가하는 장기장 발생기를 포함한다. 상기 장치에 의하면 도가니의 회전정밀도가 개선되고 이에 따라 인상된 단결정내의 불순물 농도를 아주 정밀하게 제어할 수가 있다.

대표청구항

내부에 실리콘 용융물을 함유하는 도가니(용기); 상기 도가니로부터 단결정을 인상(引相)하는 인상수단; 및 상기 도가니를 회전시키고 속도변경수단이 장차괸 도가니 회전수단; 을 포함하는 쵸코랄스키법에 의한 단결정제조장치

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