최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
출원번호 | 10-2001-0067082 (2001-10-30) |
공개번호 | 10-2003-0035149 (2003-05-09) |
등록번호 | 10-0818048-0000 (2008-03-24) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020010067082 |
발명자 / 주소 |
|
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2006-10-30) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 습식 식각 장비는, 식각 대상을 로딩/언로딩시키는 로더/언로더부; 및 상기 로더/언로더부로부터 로딩된 식각 대상에 대한 식각공정, 세정공정, 건조공정이 단일 공간에서 수행되는 식각 처리부; 를 포함한다.여기서 상기 식각 처리부는, 식각액을 분사하는 식각액 공급부와, 순수를 분사하는 순수 공급부 및 가스를 분사하는 가스 공급부를 구비하며, 상기 로더/언로더부로부터 로딩된 식각 대상을 회전시킬 수 있는 회전부를 구비한다.또한, 상기 식각 처리부로부터 배출되는 식각액과 순수의 배수 방향을 조절하여, 배출되는 식각액이 재활
식각 대상을 로딩/언로딩시키는 로더/언로더부; 및상기 로더/언로더부로부터 로딩된 식각 대상에 대한 식각공정, 세정공정, 건조공정이 단일 공간에서 수행되는 식각 처리부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 습식 식각 장비.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.