초록 ▼

본 발명은 제조 공정 수행을 돕는 시스템 및 방법을 제공한다. 임계 파라미터들은 품질 행렬로 집합적으로 값이 정해지고, 이는 하나 이상의 디자인 목표에 대한 중요도에 따라 각각 파라미터들에 가중치를 둔다. 임계 파라미터들은 제품 디자인, 시뮬레이션, 테스트 결과, 수율 데이터, 전기적 데이터와 같은 정보에 따라 계수로 가중치가 더해진다. 본 발명은 그 다음 현행 제조 공정의 합성 "스코어"인 품질 지표를 개발할 수 있다. 그 다음 제어 시스템은 현행 제조 공정이 허용가능한지를 결정하기 위해서 디자인 설계 특정과 품질 지표를 비교할

본 발명은 제조 공정 수행을 돕는 시스템 및 방법을 제공한다. 임계 파라미터들은 품질 행렬로 집합적으로 값이 정해지고, 이는 하나 이상의 디자인 목표에 대한 중요도에 따라 각각 파라미터들에 가중치를 둔다. 임계 파라미터들은 제품 디자인, 시뮬레이션, 테스트 결과, 수율 데이터, 전기적 데이터와 같은 정보에 따라 계수로 가중치가 더해진다. 본 발명은 그 다음 현행 제조 공정의 합성 "스코어"인 품질 지표를 개발할 수 있다. 그 다음 제어 시스템은 현행 제조 공정이 허용가능한지를 결정하기 위해서 디자인 설계 특정과 품질 지표를 비교할 수 있다. 만약 공정이 허용 불가능하다면, 테스트 파라미터들은 공정을 계속 진행하기 위해 수정될 수 있고 상기 공정은 재공정되고 완성된 공정들이 재수행될 수 있다. 이런 식으로, 디바이스의 각 층들은 제품 디자인과 수율에 의존하는 다른 설계 특정 및 품질 지표에 맞춰질 수 있다.

대표청구항 ▼

제조 공정을 제어가능하게 수행하는 제어기(102)와; 측정 정보를 얻고 상기 제어기(102)에 의해 제어되는 공정 툴(104)과; 그리고 상기 측정 정보를 집합적으로 분석하고, 상기 측정 정보로부터 결정되는 임계 파라미터들의 값을 조정하는 가중화 계수를 이용하여 상기 정보를 가중화하고, 상기 제조 공정이 허용가능한지의 여부를 결정하고, 그리고 상기 측정 정보로부터 결정된 가중화된 임계 파라미터들에 기초하여 품질 행렬을 생성하는 모니터 컴포넌트(106,304)를 포함하며, 상기 임계 파라미터들은 임계 치수, 결함 및 레이아웃 치수중

제조 공정을 제어가능하게 수행하는 제어기(102)와; 측정 정보를 얻고 상기 제어기(102)에 의해 제어되는 공정 툴(104)과; 그리고 상기 측정 정보를 집합적으로 분석하고, 상기 측정 정보로부터 결정되는 임계 파라미터들의 값을 조정하는 가중화 계수를 이용하여 상기 정보를 가중화하고, 상기 제조 공정이 허용가능한지의 여부를 결정하고, 그리고 상기 측정 정보로부터 결정된 가중화된 임계 파라미터들에 기초하여 품질 행렬을 생성하는 모니터 컴포넌트(106,304)를 포함하며, 상기 임계 파라미터들은 임계 치수, 결함 및 레이아웃 치수중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 공정 제어 시스템(100,300).