초록

본 발명은 촉매 공급 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 촉매의 공급을 원활이 하는 촉매 공급 장치 및 이를 구비한 탄소 나노튜브 합성 장치에 관한 것이다.본 발명의 일 실시예에 따른 촉매 공급 장치는 분말 형태의 촉매를 저장하는 저장부, 저장부에 저장된 촉매를 공정 장치에 공급하는 공급부 및 저장부에 저장된 촉매로 이루어진 더미 속에 빈 공간이 생기는 경우에 촉매에 가스를 분사하여 빈 공간을 촉매로 충진시키는 분사부를 포함한다.

대표청구항 ▼

분말 형태의 촉매를 저장하는 저장부;상기 저장부에 저장된 촉매를 공정 장치에 공급하는 공급부; 및상기 저장부에 저장된 촉매로 이루어진 더미 속에 빈 공간이 생기는 경우에 상기 촉매에 가스를 분사하여 상기 빈 공간을 촉매로 충진시키는 분사부를 포함하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 분사부는상기 저장부의 하부에 가스를 분사하는 통로를 제공하는 관; 및상기 관을 통하여 가스를 제공하는 가스탱크를 포함하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 공급부는상기 저장부에 저장된 촉매에 구동가스를 주입하고, 상기 구동가스의 압력차

분말 형태의 촉매를 저장하는 저장부;상기 저장부에 저장된 촉매를 공정 장치에 공급하는 공급부; 및상기 저장부에 저장된 촉매로 이루어진 더미 속에 빈 공간이 생기는 경우에 상기 촉매에 가스를 분사하여 상기 빈 공간을 촉매로 충진시키는 분사부를 포함하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 분사부는상기 저장부의 하부에 가스를 분사하는 통로를 제공하는 관; 및상기 관을 통하여 가스를 제공하는 가스탱크를 포함하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 공급부는상기 저장부에 저장된 촉매에 구동가스를 주입하고, 상기 구동가스의 압력차를 이용하여 공급관을 통하여 상기 촉매를 공급하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 공급부는상기 저장부의 촉매를 공정 장치에 공급하는 통로를 제공하는 공급관; 및구동가스에 의하여 상기 촉매를 상기 공급관으로 주입시키는 가스주입기를 포함하는, 촉매 공급 장치.제 1항에 있어서, 상기 저장부는상기 저장부 하부의 단면적이 상기 저장부 상부의 단면적보다 좁게 형성되는, 촉매 공급 장치탄소 나노튜브를 합성하는 공간을 제공하는 반응 챔버;상기 반응 챔버를 가열하는 가열부;상기 반응 챔버에 반응가스를 공급하는 반응가스 공급부; 및상기 반응챔버에 촉매를 공급하는 촉매공급부를 포함하며, 상기 촉매공급부는분말 형태의 촉매를 저장하는 저장부;상기 저장부에 저장된 촉매를 상기 반응 챔버에 공급하는 공급부; 및상기 저장부에 저장된 촉매로 이루어진 더미 속에 빈 공간이 생기는 경우에 상기 촉매에 가스를 분사하여 상기 빈 공간을 촉매로 충진시키는 분사부를 포함하는, 탄소 나노튜브 합성 장치.