$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

마스크 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/027
출원번호 10-2009-0058548 (2009-06-29)
공개번호 10-2011-0001145 (2011-01-06)
DOI http://doi.org/10.8080/1020090058548
발명자 / 주소
  • 최진영 / 경기도 이천시 고담동 **-* 고담기숙사 ***-****
출원인 / 주소
  • 주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 아주양헌
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

설계된 테스트 패턴들의 선폭과 실제 테스트 마스크 상에 형성되는 테스트 패턴들의 선폭과의 차이를 측정하여 민투타겟(MTT) 데이터를 얻고, 웨이퍼 상으로 전사할 패턴의 원본 레이아웃을 얻은 후, 원본 레이아웃을 광근접효과보정(OPC)하고, 광근접효과보정된 레이아웃에 민투타겟(MTT) 데이터를 이용하여 바이어스(bias)를 인가하여 선폭을 수정한 후, 선폭이 수정된 레이아웃을 검증하여 취약 지점을 검출한다. 검증된 광근접효과보정 레이아웃을 이용하여 마스크를 제작하는 마스크 제조 방법을 제시한다.

대표청구항 ▼

설계된 테스트 패턴들의 선폭과 실제 테스트 마스크 상에 형성되는 테스트 패턴들의 선폭과의 차이를 측정하여 민투타겟(MTT) 데이터를 얻는 단계;웨이퍼 상으로 전사할 패턴의 원본 레이아웃을 얻는 단계;상기 원본 레이아웃을 광근접효과보정(OPC)하는 단계;상기 광근접효과보정된 레이아웃에 상기 민투타겟(MTT) 데이터를 이용하여 바이어스(bias)를 인가하여 선폭을 수정하는 단계;상기 선폭이 수정된 레이아웃을 검증하여 취약 지점을 검출하는 단계; 및상기 검증된 광근접효과보정 레이아웃을 이용하여 마스크를 제작하는 단계를 포함하는 마스크 제

발명자의 다른 특허 :

관련 콘텐츠

섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로