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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2009-0071372 (2009-08-03) |
공개번호 | 10-2010-0017063 (2010-02-16) |
등록번호 | 10-1104864-0000 (2012-01-04) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020090071372 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2009-08-03) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
기판 상에 패턴을 기록하는 시스템 및 방법이 제공된다.패터닝된 방사선 빔은 레티클을 이용하여 생성되며, 기판 상으로 투영되어 패턴을 노광시킨다.웨이퍼 스루풋의 실질적인 증가를 제공하면서, 상기 패턴이 기판의 전체 폭을 가로질러 스캐닝 방향으로 노광될 수 있도록, 레티클 및 기판의 각각의 스캐닝 속도가 제어된다.
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