최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
출원번호 | 10-2010-0038352 (2010-04-26) |
공개번호 | 10-2011-0118939 (2011-11-02) |
등록번호 | 10-1110371-0000 (2012-01-19) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100038352 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
|
대리인 / 주소 |
|
심사청구여부 | 있음 (2010-04-26) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 이트륨(Y), 가돌리늄(Gd), 알루미늄(Al) 및 칼슘(Ca) 중에서 선택된 1종 이상의 원소의 양이온과 불소(F)와 산소(O)의 음이온을 포함하며, 상기 음이온의 전체 함량 중에서 불소(F) 음이온의 함량이 10~90중량% 범위를 이루는 내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 내플라즈마 특성이 우수하고, 오염입자 발생이 억제되며, 균열이 없고, 플라즈마에서 생성되어 가속화된 입자에 의한 선택적 식각이 되지 않도록 충분히 낮은 표면조도를 가지며, 플라즈마에서 발생한 반응가스
이트륨(Y), 가돌리늄(Gd), 알루미늄(Al) 및 칼슘(Ca) 중에서 선택된 1종 이상의 원소의 양이온과 불소(F)와 산소(O)의 음이온을 포함하며, 상기 음이온의 전체 함량 중에서 불소(F) 음이온의 함량이 10~90중량% 범위를 이루는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.