$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막 및 그 제조방법

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • C23C-024/08
  • B05D-001/02
  • C23C-004/10
출원번호 10-2010-0038352 (2010-04-26)
공개번호 10-2011-0118939 (2011-11-02)
등록번호 10-1110371-0000 (2012-01-19)
DOI http://doi.org/10.8080/1020100038352
발명자 / 주소
  • 이성민 / 경기도 광주시 곤지암읍 평촌길 **, 킴스빌리지 ***동 ***호
  • 서동남 / 충청남도 서산시 석림동 중앙하이츠빌아파트 ***-***
  • 오윤석 / 서울특별시 강동구 상암로 **, ***동 ****호 (암사동, 선사현대아파트)
  • 김형태 / 서울특별시 서초구 신반포로 ***, ***동 ****호 (반포동, 반포자이)
  • 김성원 / 서울특별시 강동구 고덕로 ***, 삼익그린 *차 ***동 ****호 (명일동)
  • 최관영 / 서울특별시 송파구 오금로**길 **, ***동 ***호 (방이동, 코오롱아파트)
출원인 / 주소
  • 한국세라믹기술원 / 서울특별시 금천구 디지털로**길 ** (가산동)
대리인 / 주소
  • 고길수
심사청구여부 있음 (2010-04-26)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은, 이트륨(Y), 가돌리늄(Gd), 알루미늄(Al) 및 칼슘(Ca) 중에서 선택된 1종 이상의 원소의 양이온과 불소(F)와 산소(O)의 음이온을 포함하며, 상기 음이온의 전체 함량 중에서 불소(F) 음이온의 함량이 10~90중량% 범위를 이루는 내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막 및 그 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 내플라즈마 특성이 우수하고, 오염입자 발생이 억제되며, 균열이 없고, 플라즈마에서 생성되어 가속화된 입자에 의한 선택적 식각이 되지 않도록 충분히 낮은 표면조도를 가지며, 플라즈마에서 발생한 반응가스

대표청구항

이트륨(Y), 가돌리늄(Gd), 알루미늄(Al) 및 칼슘(Ca) 중에서 선택된 1종 이상의 원소의 양이온과 불소(F)와 산소(O)의 음이온을 포함하며, 상기 음이온의 전체 함량 중에서 불소(F) 음이온의 함량이 10~90중량% 범위를 이루는 것을 특징으로 하는 내플라즈마 결정질 세라믹 코팅막.

발명자의 다른 특허 :

이 특허를 인용한 특허 (8)

  1. [한국] 투명 불소계 박막의 형성 방법 및 이에 따른 투명 불소계 박막 | 박재혁, 김대근, 이명노, 김병기, 석혜원
  2. [한국] 내 플라즈마 코팅을 위한 에어로졸 증착 코팅방법 | 장대훈, 고현철, 김동주, 박상규, 박진수
  3. [한국] 플루오로-어닐링된 필름으로 코팅된 물품 | 린 아이-콴, 군다 닐레시, 라드고우스키 데니스, 벤카트라만 찬드라
  4. [한국] 에어로졸 증착법을 이용하여 제조된 세라믹 후막 및 이의 제조방법 | 양정민, 변재호, 이용수, 박선우
  5. [한국] 구조물 | 아시자와 히로아키, 키요하라 마사카츠
  6. [한국] 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막의 형성 방법 및 이에 따른 플로라이드화 이트륨 옥사이드 코팅막 | 박재혁, 김대근, 석혜원, 김병기
  7. [한국] 내 플라즈마 코팅을 위한 에어로졸 증착 코팅방법 | 장대훈, 고현철, 김동주, 박상규, 박진수
  8. [한국] 구조물 | 아시자와 히로아키, 키요하라 마사카츠
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트