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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2010-0089360 (2010-09-13) |
공개번호 | 10-2012-0027652 (2012-03-22) |
등록번호 | 10-1151413-0000 (2012-05-23) |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020100089360 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2010-09-13) |
심사진행상태 | 등록결정(일반) |
법적상태 | 소멸 |
이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 및 그 제조 방법이 제공된다. 이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 형성 방법은, 실리콘 기판 상에 에미터(emitter) 층을 형성하는 단계, 상기 형성된 에미터 층 상에 니켈(Ni)/구리(Cu)/은(Ag)을 포함하는 전면 전극을 형성하는 단계, 상기 에미터 층 상의 상기 전면 전극이 형성되지 않은 부분에 황화아연(ZnS) 층 및 불화마그네슘(MgF2) 층을 갖는 반사 방지막을 증착하는 단계, 및 상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막을 함께 열처리하는 단계를 포함한다.
이중 반사 방지막을 포함하는 태양 전지 형성 방법에 있어서,실리콘 기판 상에 에미터(emitter) 층을 형성하는 단계,상기 형성된 에미터 층 상에 전면 전극을 형성하는 단계,상기 에미터 층 상의 상기 전면 전극이 형성되지 않은 부분에 이중의 반사 방지막을 증착하는 단계, 및상기 전면 전극 및 상기 이중의 반사 방지막을 함께 열처리하는 단계를 포함하되, 상기 전면 전극은 니켈 도금막, 구리 도금막, 및 은 도금막을 포함하고,상기 이중의 반사 반지막은 불화마그네슘(MgF2) 층 및 황화아연(ZnS) 층을 포함하는 반사 방지막, 불화마
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