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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2011-0063656 (2011-06-29) | |
| 공개번호 | 10-2013-0007109 (2013-01-18) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020110063656 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
| 법적상태 | 취하 |
본 발명은 액상 성장(Solution growth)에 의하여 탄화규소 단결정을 성장시키기 위한 장치 및 그 방법이 개시되어 있다.본 발명에 따른 탄화규소 단결정 성장 장치는 진공 상태의 반응실; 상기 반응실의 내부에 제공되며, 내부에 실리콘(Si), 또는 탄화규소(SiC) 분말 또는 이들의 혼합물이 장입되고 내측 상부에 탄화규소가 성장하는 탄화규소 종자정과 상기 탄화규소 종자정으로부터 연장되어 형성되어 있는 종자정 연결봉이 제공되어 있는 그래파이트 재질의 도가니; 및 상기 도가니를 가열하기 위한 발열체;를 포함한다.도가니의 내부에는
일정한 압력 상태의 반응실;상기 반응실의 내부에 제공되며, 내부에 실리콘, 또는 탄화규소(SiC) 분말 또는 이들의 혼합물이 장입되고 내측 상부에 탄화규소가 성장하는 탄화규소 종자정과 상기 탄화규소 종자정으로부터 연장되어 형성되어 있는 종자정 연결봉이 제공되어 있는 그래파이트 재질의 도가니; 및상기 도가니를 가열하기 위한 발열체;를 포함하며,적어도 측면에 다수의 기공이 형성되어 있는 그래파이트 재질의 원통형 보조구가 상기 도가니의 내부에 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 탄화규소 단결정 성장 장치.
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