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캐리어 기체에 의한 화합물 기화용 버블러

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • H01L-021/205
출원번호 10-2011-0064788 (2011-06-30)
등록번호 10-1084997-0000 (2011-11-14)
DOI http://doi.org/10.8080/1020110064788
발명자 / 주소
  • 박영균 / 경기도 남양주시 화도읍 창현리 두산*차 ***동 ****호
  • 이병현 / 경기도 안산시 단원구 선부*동 ****-*번지 ***호
  • 정태희 / 경기도 시흥시 정왕동 ****-*번지 ***호
  • 전병주 / 경기도 안산시 단원구 신길동 ****-*번지
출원인 / 주소
  • (주)그랜드 텍 / 경기도 오산시 외삼미동 ***-*
대리인 / 주소
  • 특허법인 천지
심사청구여부 있음 (2011-06-30)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 반도체 웨이퍼 표면의 박막 형성을 위하여 캐리어 기체의 버블을 이용하여 화합물을 기화시키는 반도체 제조 고정용 버블러에 관한 것이다. 본 발명은 실시예로, 반응물질이 수용된 용기를 포함하는 버블러에 장착되는 것으로, 상기 용기 내부의 하부에 구비되는 플레이트, 상기 플레이트에 장착되며 외부에서 공급된 캐리어 가스를 방사상으로 분사시키는 제1산기부재, 상기 제1산기부재의 상부에 설치되며, 상승하는 캐리어 가스가 분산되어 통과하는 복수의 통과홀이 상하 관통되어 있는 제2산기부재 그리고 상기 제2산기부재의 상부에 설치되며, 상

대표청구항

반응물질이 수용된 용기를 포함하는 버블러에 장착되는 것으로, 상기 용기 내부의 하부에 구비되는 플레이트, 상기 플레이트에 장착되며 외부에서 공급된 캐리어 가스를 방사상으로 분사시키는 제1산기부재상기 제1산기부재의 상부에 설치되며, 상승하는 캐리어 가스가 분산되어 통과하는 복수의 통과홀이 상하 관통되어 있는 제2산기부재 그리고 상기 제2산기부재의 상부에 설치되며, 상승하는 캐리어 가스가 통과하는 다공성물질로 이루어진 제3산기부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 캐리어 기체에 의한 화합물 기화용 버블러.

발명자의 다른 특허 :

이 특허를 인용한 특허 (1)

  1. [한국] 고체 전구체용 버블러 | 이현식
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