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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2011-0123639 (2011-11-24) | |
등록번호 | 10-1257203-0000 (2013-04-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020110123639 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2011-11-24) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명의 실시예에 따른 비선형 레이저 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치 및 방법은 슬릿 마스크의 슬릿 열림 폭(w)과 슬릿 간격(d)의 비에 의해 최소화 되는 레이저 표면파에 본질적으로 포함된 2배 주파수 성분의 크기를 결정한다.본 발명에 의하면, 비접촉식 비선형 레이저 표면파를 이용하여 접촉식 탐촉자에 의하던 오차를 극복함으로써 검사자의 사용 환경에 영향을 적게 받는 미소손상 진단을 가능하게 한다.
슬릿 마스크를 통해 피검사체로 표면파를 입사시키는 표면파 가진부; 및상기 피검사체로부터의 신호를 수신하여 주파수를 분석하는 신호 분석부;를 포함하고, 상기 슬릿 마스크는 표면파에 포함된 2배 주파수 성분이 최소화되도록 형성되는, 비선형 표면파를 이용한 미소손상 진단 장치.
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