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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC9판) |
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출원번호 | 10-2012-0026425 (2012-03-15) | |
공개번호 | 10-2013-0104697 (2013-09-25) | |
등록번호 | 10-1331726-0000 (2013-11-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120026425 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-03-15) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 실시예에 따른 기판 도금 시스템은, 복수 개의 구획 공간을 구비하는 장치 프레임; 복수 개의 구획 공간 중 선택된 구획 공간에 배치 가능하며, 기판에 대한 도금 공정을 실행하는 복수 개의 기판 도금 장치; 및 기판 도금 장치가 구비된 구획 공간에 배치되어 기판에 대한 도금 공정 전에 기판을 프리 웨팅(pre-wetting)하는 프리 웨팅 장치;를 포함할 수 있다. 본 발명의 실시예에 따르면, 장치 프레임이 구비하는 복수 개의 구획 공간에 복수 개의 기판 도금 장치뿐만 아니라 그에 대응되는 프리 웨팅 장치가 구비될 수 있어
복수 개의 구획 공간을 구비하는 장치 프레임;상기 복수 개의 구획 공간 중 선택된 구획 공간에 배치 가능하며, 기판에 대한 도금 공정을 실행하는 복수 개의 기판 도금 장치; 및상기 기판 도금 장치가 구비된 상기 구획 공간에 배치되어 상기 기판에 대한 도금 공정 전에 상기 기판을 프리 웨팅(pre-wetting)하며, 상기 기판 도금 장치 내부로 인입 가능하여 상기 기판 도금 장치의 척에 척킹된 상기 기판에 대해서 프리 웨팅을 실행하는 프리 웨팅 유닛을 구비하는 프리 웨팅 장치;를 포함하며,상기 프리 웨팅 유닛은,상기 기판의 형상에
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