최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC9판) |
|
|
출원번호 | 10-2012-0048374 (2012-05-08) | |
등록번호 | 10-1322783-0000 (2013-10-22) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120048374 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2012-05-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
아노다이징 처리된 알루미늄 소재의 열화 및 입자 오염을 방지할 수 있는 세라믹 보호 피막 및 그 코팅 방법에 대하여 개시한다.본 발명에 따른 세라믹 보호 피막은 아노다이징 처리된 알루미늄 소재의 표면에 40 ~ 200℃에서 진공 증착으로 형성되는 세라믹 보호 피막으로써, 상기 세라믹 보호 피막은 MgF2, YF3, AlF3 및 CaF2를 포함하는 불소계 화합물 중 1종 이상으로 형성되며, 플라즈마 에칭에 의하여 상기 모재가 열화되는 것을 방지하고, 단위면적 부피당 85% 이상의 충진율로 형성되는 것을 특징으로 한다.
불소계 공정 가스가 사용되는 플라즈마 에칭 분위기에 노출되며, 아노다이징 처리된 알루미늄으로 이루어진 모재를 마련하는 단계; 및 상기 모재의 표면에 40 ~ 200℃에서 진공 증착으로 MgF2, YF3, AlF3 및 CaF2를 포함하는 불소계 화합물 중 1종 이상으로 이루어진 세라믹 보호 피막을 형성하는 단계;를 포함하며, 상기 세라믹 보호 피막은 플라즈마 에칭에 의하여 상기 모재가 열화되는 것을 방지하고, 단위면적 부피당 85% 이상의 충진율로 형성되고, 상기 세라믹 보호 피막은 0.1 ~ 10㎛의 두께로 형성되는 것을 특징으로
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.