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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2012-0052051 (2012-05-16) | |
공개번호 | 10-2013-0128187 (2013-11-26) | |
등록번호 | 10-1397277-0000 (2014-05-13) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020120052051 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2012-05-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 소멸 |
본 발명에 따른 이물질 제거 장치는 이물질 제거의 대상을 이송하여 거치하는 이송 지지부, 레이저 광을 발생시키는 레이저부, 상기 레이저광을 상기 대상으로부터 이격된 상부 공간에 스캔 조사하기 위한 스캔 조사부, 상기 스캔 조사부에 대응하여 스캔 조사된 레이저광을 흡광하는 흡광부, 상기 대상으로 에어를 분사하는 적어도 두 개의 에어 노즐, 및 상기 대상에 대응하여 상측에서 연기를 흡입하는 흡입부를 포함한다.
이물질 제거의 대상을 이송하여 거치하는 이송 지지부; 레이저 광을 발생시키는 레이저부; 상기 레이저광을 상기 대상으로부터 이격된 상부 공간에 스캔 조사하기 위한 스캔 조사부; 상기 스캔 조사부에 대응하여 스캔 조사된 레이저광을 흡광하는 흡광부; 상기 대상으로 에어를 분사하는 적어도 두 개의 에어 노즐; 및 상기 대상에 대응하여 상측에서 연기를 흡입하는 흡입부; 를 포함하는 이물질 제거 장치.
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