$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

포토레지스트 고비점 박리 폐액 재생 장치

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC9판)
  • G03F-007/42
  • H01L-021/027
출원번호 10-2013-0023760 (2013-03-06)
등록번호 10-1330654-0000 (2013-11-12)
DOI http://doi.org/10.8080/1020130023760
발명자 / 주소
  • 이호경 / 서울특별시 종로구 사직로*길 ** 경희궁의아침아파트 *단지 ***호
  • 이인규 / 경기도 안양시 동안구 엘에스로 ** 아크로리버 B동 ****호
  • 박명준 / 경기도 화성시 화성로****번길 **-** 금강아파트 ***동 ***호
  • 구기갑 / 서울특별시 마포구 백범로 ** 서강대학교 화공생명공학과
  • 김재경 / 서울특별시 마포구 백범로 ** 서강대학교 화공생명공학과
출원인 / 주소
  • 주식회사 코렉스 / 경기도 안양시 동안구 학의로 ***, 메가벨리빌딩 ***호 (관양동)
대리인 / 주소
  • 한라특허법인
심사청구여부 있음 (2013-03-06)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 소멸

초록

본 발명은 포토레지스트 고비점 박리 폐액 재생 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정표시장치 또는 반도체 소자 등의 제조공정에서 발생되는 포토레지스트 고비점 박리 폐액으로부터 고가의 고비점 박리 용제를 고순도 전자급 수준으로 용이하게 재생시킬 수 있도록 한 포토레지스트 고비점 박리 폐액 재생 장치에 관한 것이다.즉, 본 발명은 액정표시장치 또는 반도체 소자 등의 제조 공정에서 발생되는 포토레지스트 고비점 박리 폐액에서 저비점 불순물을 제거하는 제1증류장치와, 고비점 불순물 제거와 동시에 박리 용제 조성물을 재생하는 제2증류장치

대표청구항

삭제

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [한국] 포토레지스트 스트리퍼의 재생방법 | 이호경, 이인규, 박명준, 구기갑, 김재경

이 특허를 인용한 특허 (2)

  1. [한국] 재생수율이 증진되는 포토레지스트 고비점 박리 폐액 재생 방법 | 이호경, 이인규, 박명준, 구기갑, 김재경
  2. [한국] 재생수율이 증진되는 포토레지스트 고비점 박리 폐액 재생 장치 | 이호경, 이인규, 박명준, 구기갑, 김재경
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트