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특허 상세정보
저농도 SF6 가스 회수장치 및 회수방법
| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC8판) | |
| 출원번호 | 10-2013-0147218 (2013-11-29) |
| 공개번호 | 10-2015-0026707 (2015-03-11) |
| 우선권정보 | 대한민국(KR) 1020130104161 (2013-08-30) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020130147218 |
| 발명자 / 주소 |
|
| 출원인 / 주소 |
|
| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2014-04-23) |
| 심사진행상태 | 거절결정(일반) |
| 법적상태 | 거절 |
| 표준산업분류 | 20121. 산업용 가스 제조업 |
| 키워드 | 혼합가스제조/원소혼합가스제조/SF6가스/저농도SF6가스/산성가스/배출가스/장치/정제부/회수부/중공사분리막 |
초록
본 발명은 저농도 SF6 가스 회수장치(100)에 관한 것으로, 저농도의 SF6가 함유된 배출가스로부터 산성가스를 제거하는 제1 정제부(10), 산성가스가 제거된 배출가스를 가압하고 저장하는 제1 회수부(20), 중공사 분리막(31)을 포함하고, 중공사 분리막(31)을 투과시켜 제1 회수부(20)에 저장된 배출가스를 정제시키는 제2 정제부(30), 및 제2 정제부(30)를 거쳐서 정제된 고농도의 SF6를 회수하는 제2 회수부(40)를 포함한다.
대표
청구항
저농도의 SF6가 함유된 배출가스로부터 산성가스를 제거하는 제1 정제부;상기 산성가스가 제거된 상기 배출가스를 가압하고 저장하는 제1 회수부;중공사 분리막을 포함하고, 상기 중공사 분리막을 투과시켜 상기 제1 회수부에 저장된 상기 배출가스를 정제시키는 제2 정제부; 및상기 제2 정제부를 거쳐서 정제된 고농도의 상기 SF6를 회수하는 제2 회수부;를 포함하는 저농도 SF6 가스 회수장치.
