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광폭 대기압 플라즈마 방전장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H05H-001/24
  • H05H-001/34
출원번호 10-2014-0078232 (2014-06-25)
공개번호 10-2016-0000709 (2016-01-05)
DOI http://doi.org/10.8080/1020140078232
발명자 / 주소
  • 서순교 / 대구광역시 북구 구암로**길 * 현대아파트 ***동 ****호(태전동)
  • 이상문 / 대구광역시 달서구 한실로 *** 미리샘마을아파트 ***동 ****호
  • 정홍근 / 대구광역시 달서구 월배로**안길 ** 귀빈아파트 ***동 ****호
  • 박병진 / 대구광역시 달서구 월곡로**길 **-* 대동빌 ***호
출원인 / 주소
  • (주)트리비스 / 대구광역시 달서구 성서공단로**길 **, 벤처공장 *-*** (호산동)
대리인 / 주소
  • 김기문; 김구현
심사청구여부 있음 (2014-06-25)
심사진행상태 거절결정(일반)
법적상태 거절

초록

본 발명은 대기압 하에서 유전체 전극을 사용하여 넓은 범위에 걸쳐 플라즈마를 방전시킬 수 있는 광폭 대기압 플라즈마 방전장치에 관한 것이다.본 발명은 원통형상의 장착공간과, 상기 장착공간으로 대기압의 공정가스가 투입되는 가스 흡입구와, 상기 장착공간에서 플라즈마가 토출되는 플라즈마 토출구가 구비되고, 접지된 금속 재질의 헤드; 및 상기 장착공간에 내장되고, 고압 전류가 공급됨에 따라 상기 헤드와 사이에 플라즈마를 발생시키는 유전체 전극;을 포함하고, 상기 플라즈마 토출구는 상기 장착공간의 축방향으로 길게 형성된 슬릿 형상이고, 상기

대표청구항

원통형상의 장착공간과, 상기 장착공간으로 대기압의 공정가스가 투입되는 가스 흡입구와, 상기 장착공간에서 플라즈마가 토출되는 플라즈마 토출구가 구비되고, 접지된 금속 재질의 헤드; 및상기 장착공간에 내장되고, 고압 전류가 공급됨에 따라 상기 헤드와 사이에 플라즈마를 발생시키는 유전체 전극;을 포함하고,상기 플라즈마 토출구는 상기 장착공간의 축방향으로 길게 형성된 슬릿 형상이고,상기 유전체 전극은 상기 장착공간 내측에 축방향으로 길게 위치한 원통형상인 것을 특징으로 하는 광폭 대기압 플라즈마 방전장치.

발명자의 다른 특허 :

이 특허에 인용된 특허 (4)

  1. [한국] 대기압 플라즈마 발생장치 | 위순임
  2. [일본] HEAT SINK USING METAL FOAMED MATERIAL | AOYANAGI HIDEKI, KANEURA SHINJIYU, SAKAI YUZURU
  3. [일본] ATMOSPHERIC-PRESSURE PLASMA GENERATING APPARATUS FOR MASS-PRODUCTION | LEE SANG RO, IM SEONG SIL, KIM YUN HWAN, CHOI WOO CHEOL
  4. [일본] PLASMA SURFACE TREATMENT DEVICE | TAKASHIMA KENJI
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