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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2015-0160780 (2015-11-17) | |
| 공개번호 | 10-2017-0057536 (2017-05-25) | |
| 등록번호 | 10-1820310-0000 (2018-01-15) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020150160780 | |
| 발명자 / 주소 | ||
| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2015-11-17) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 포토레지스트 도포장비 세정용 씬너 조성물로써, 글리콜 에테르류, 에틸 3-에톡시프로피오네이트, 메틸 3-메톡시프로피오네이트 및 다가알코올류를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 본 발명의 포토레지스트 도포장비 세정용 씬너 조성물은포토레지스트 도포 장비 내에 잔류해 있는 포토레지스트 성분 및 염류등의 극성 오염물을 제거하고, 배관막힘현상을 방지할 수 있다.
포토레지스트를 도포하는 과정에서 사용된 포토레지스트 도포장비 세정용 조성물로서, 전체 조성물 100 중량부에 대해,글리콜 에테르류 55-70 중량부;에틸 3-에톡시프로피오네이트(Ethyl 3-ethoxy propionate) 25-35 중량부;메틸 3-메톡시프로피오네이트(Methyl 3-methoxy propionate) 3-7 중량부; 및글리세린 1-5 중량부;로 이루어지며,상기 글리콜 에테르류는 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르 1종 단독화합물로 구성되거나 프로필렌 글리콜 모노메틸에테르와 프로필셀로솔브로 이루어진 혼합물인 것을 특징
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