[특허]원자층 증착 또는 화학적 기상증착용 전구체로서의 신규한 유기-지르코늄 화합물 및 그 제조방법

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	C23C-016/455 C07F-007/00 C23C-016/18 C23C-016/34 C23C-016/40
출원번호	10-2017-0087997 (2017-07-11)
공개번호	10-2019-0006810 (2019-01-21)
등록번호	10-2418179-0000 (2022-07-04)
DOI	http://doi.org/10.8080/1020170087997
발명자 / 주소	장명식 / 경기도 화성시 병점중앙로 *** 월드메르디앙단지아파트 동호 정영운 / 경기도 평택시 지산로 * 대림아파트 *동 호 손경호 / 서울특별시 양천구 남부순환로길 *-, 층 박영수 / 경기도 화성시 동탄공원로 -, 동호 홍혁진 / 경기도 수원시 팔달구 화산로 , *동호 김태우 / 강원도 강릉시 지변길번길 *
출원인 / 주소	주식회사 엘피엔 / 경기도 화성시 동탄대로 *, *호(영천동, 에스에이치타임스퀘어)
대리인 / 주소	특허법인다인
심사청구여부	있음 (2020-07-07)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	등록

초록 ▼

본 발명은 원자층 증착(ALD : Atomic Layer Deposition) 또는 화학적 기상 증착 (Chemical Vapor Deposition) 공정에 이용되는 자가 제한적 반응(Self-limiting reaction)에 사용되는 금속 전구체(Metal Precursor)를 구성하는 리간드 화합물인 에 관한 것으로, 본 발명은 원자층 증착(ALD : Atomic Layer Deposition) 또는 화학적 기상 증착 (Chemical Vapor Deposition) 공정에 이용되는 전구체(Precursor) 중, 자가 제한적 반응(Self-limiting reaction)에 사용되는 전구체(Precursor)를 구성하는 유기지르코늄 화합물 및 그 제조방법에 관한 것으로, 본 발명은 신규한 중간체를 이용하여 유기지르코늄 화합물을 고순도로 간편하고 용이하게 제조하는 방법을 제공한다.

대표청구항

하기 화학식 3의 비스(디메칠아미노)[N-메틸-2-(1,2,3,4,5-펜타메칠싸이클로펜타-2,4-다이엔-1-일)에틸-아미노]지르코늄인 유기-지르코늄 화합물.[화학식 3]상기 화힉식에서 R1은 메틸

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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