초록 ▼

본 발명은 반도체, 태양전지, 발광다이오드, 디스플레이 제조산업에서 배출되는 과불화탄소류(perfluorocarbons), 육불화황(SF6), 삼불화질소(NF3)와 같은 유해한 불소화합물을 효과적으로 제거하는 방법에 관한 것으로서, 상기의 유해한 불소화합물을 보다 낮은 온도에서 효과적으로 제거할 수 있도록 연속공정 내부에서 열에너지를 효율적으로 회수하여 수소와 수증기를 포함하는 촉진가스를 발생시키는 단계, 그리고 상기의 촉진가스로 유해한 불소화합물의 수소화반응(hydrogenation) 또는 가수분해반응(hydrolysis)을 촉진

본 발명은 반도체, 태양전지, 발광다이오드, 디스플레이 제조산업에서 배출되는 과불화탄소류(perfluorocarbons), 육불화황(SF6), 삼불화질소(NF3)와 같은 유해한 불소화합물을 효과적으로 제거하는 방법에 관한 것으로서, 상기의 유해한 불소화합물을 보다 낮은 온도에서 효과적으로 제거할 수 있도록 연속공정 내부에서 열에너지를 효율적으로 회수하여 수소와 수증기를 포함하는 촉진가스를 발생시키는 단계, 그리고 상기의 촉진가스로 유해한 불소화합물의 수소화반응(hydrogenation) 또는 가수분해반응(hydrolysis)을 촉진시켜 후속 단계에서 제거가 용이한 간단한 불소화합물로 분해 및 전환시키는 단계를 포함하는 일련의 연속공정으로 구성된 유해한 불소화합물의 제거 방법에 관한 것이다. 상기의 본 발명에 따르면, 에너지 효율이 매우 높고, 연료 또는 촉진가스의 공급을 위한 별도의 외부 시설이 필요하지 않고, 열교환 용량 및 단열 부재의 사용이 최소화된 일체형의 소형 장치로 구현할 수 있으므로, 경제적으로는 투자비 및 운영비가 절감되고 산업적으로는 적용 범위가 확대될 수 있다.

대표청구항

(a) 메탄올 수용액으로부터 촉진가스를 생성하는 제2 반응부;(b) 촉진가스와 불순물이 제거된 공정배출가스를 혼합하는 혼합부;(c) 상기 혼합부를 통해 얻어진 혼합가스에 포함된 유해한 불소화합물을 간단한 불소화합물로 분해 및 전환하는 제1 반응부; 및(d) 상기 제1 반응부로부터 배출된 가스흐름으로부터 간단한 불소화합물을 제거하는 제2 정화부;를 포함하는, 메탄올 수용액을 이용하여 유해한 불소화합물을 제거하는 장치.

(a) 메탄올 수용액으로부터 촉진가스를 생성하는 제2 반응부;(b) 촉진가스와 불순물이 제거된 공정배출가스를 혼합하는 혼합부;(c) 상기 혼합부를 통해 얻어진 혼합가스에 포함된 유해한 불소화합물을 간단한 불소화합물로 분해 및 전환하는 제1 반응부; 및(d) 상기 제1 반응부로부터 배출된 가스흐름으로부터 간단한 불소화합물을 제거하는 제2 정화부;를 포함하는, 메탄올 수용액을 이용하여 유해한 불소화합물을 제거하는 장치.