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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0052116 (2018-05-04) | |
공개번호 | 10-2019-0096260 (2019-08-19) | |
등록번호 | 10-2640117-0000 (2024-02-20) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020180015733 (2018-02-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180052116 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-04-09) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판, 상기 기판 상에 상기 기판과 이격되어 배치되는 지지막, 상기 지지막 상에서 상기 기판의 상면과 평행한 방향으로 상호 이격되는 제 1 열전 소자 및 제 2 열전 소자, 상기 지지막 상에서 상기 제 1 열전 소자의 일단과 제 2 열전 소자의 일단을 연결하는 연결 전극, 및 상기 제 1 및 제 2 열전 소자들 상에 배치되는 적외선 필터를 포함하는 적외선 센서를 제공하되, 상기 제 1 및 제 2 열전 소자들은 서로 다른 도전형의 반도체 물질을 포함하고, 상기 적외선 필터는 상기 적외선 필터로 입사되는 적외선 대역의 전자기파의 파장보
기판;상기 기판 상에 상기 기판과 이격되어 배치되는 지지막;상기 지지막 상에서 상호 이격되는 제 1 열전 소자 및 제 2 열전 소자, 상기 제 1 및 제 2 열전 소자들은 서로 다른 도전형의 반도체 물질을 포함하고;상기 지지막 상에서 상기 제 1 열전 소자의 일단과 제 2 열전 소자의 일단을 연결하는 연결 전극;상기 지지막 상에서 상기 제 1 열전 소자, 상기 제 2 열전 소자 및 상기 연결 전극을 덮는 절연층; 및상기 절연층 사에 배치되고, 상기 제 1 및 제 2 열전 소자들 상방에 위치하는 적외선 필터를 포함하되,상기 적외선 필
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