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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2018-0100598 (2018-08-27) | |
공개번호 | 10-2020-0023995 (2020-03-06) | |
등록번호 | 10-2087979-0000 (2020-03-05) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020180100598 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2018-08-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 여러 개의 조각 셔터로 이루어진 셔터를 수평으로 이동시켜 유연성 기판이 증착물질에 선택적으로 노출되게 하는 한편 수직 방향으로 세워질 수 있도록 함으로써 셔터공간을 줄일 수 있도록 하는 롤투롤 진공 증착시스템의 셔터장치에 관한 것으로,본 발명은 롤투롤 방식의 진공 증착시스템에서, 유연성 기판의 하부 양측면으로 ∩자 형태의 이동 프레임을 설치하되 유연성 기판은 이동 프레임 사이에서 이동되게 하고, 상기 이동 프레임은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자 형태의 이동홈을 형성하고, 상기 이동홈에는 여러 개의 조각셔터를 연결하여 곡선
진공챔버에서 송출롤(20)에 감긴 유연성 기판(10)에 증착물질이 증착된 후 회수롤(30)에 감기는 롤투롤 진공 증착시스템에서, 유연성 기판(10)의 하부 양측면으로 ∩자의 이동 프레임(40)(41)을 설치하되 유연성 기판(10)은 이동 프레임(40)(41) 사이에서 이동되고, 상기 이동 프레임(40)(41)은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자의 이동홈(42)을 형성하고, 상기 이동홈(42)에는 여러 개의 조각셔터(53)를 연결하여 곡선 부위의 이동이 가능한 셔터(50)(50')를 설치하되 상기 조각셔터(53)의 양쪽에는 이동 프레임(4
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