초록 ▼

본 발명은 여러 개의 조각 셔터로 이루어진 셔터를 수평으로 이동시켜 유연성 기판이 증착물질에 선택적으로 노출되게 하는 한편 수직 방향으로 세워질 수 있도록 함으로써 셔터공간을 줄일 수 있도록 하는 롤투롤 진공 증착시스템의 셔터장치에 관한 것으로,본 발명은 롤투롤 방식의 진공 증착시스템에서, 유연성 기판의 하부 양측면으로 ∩자 형태의 이동 프레임을 설치하되 유연성 기판은 이동 프레임 사이에서 이동되게 하고, 상기 이동 프레임은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자 형태의 이동홈을 형성하고, 상기 이동홈에는 여러 개의 조각셔터를 연결하여 곡선

본 발명은 여러 개의 조각 셔터로 이루어진 셔터를 수평으로 이동시켜 유연성 기판이 증착물질에 선택적으로 노출되게 하는 한편 수직 방향으로 세워질 수 있도록 함으로써 셔터공간을 줄일 수 있도록 하는 롤투롤 진공 증착시스템의 셔터장치에 관한 것으로,본 발명은 롤투롤 방식의 진공 증착시스템에서, 유연성 기판의 하부 양측면으로 ∩자 형태의 이동 프레임을 설치하되 유연성 기판은 이동 프레임 사이에서 이동되게 하고, 상기 이동 프레임은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자 형태의 이동홈을 형성하고, 상기 이동홈에는 여러 개의 조각셔터를 연결하여 곡선 부위의 이동이 가능한 셔터를 설치하되 상기 조각셔터의 양쪽에는 이동 프레임의 이동홈에 끼워지는 이동롤러를 설치하고, 상기 이동 프레임의 상부에는 수평 방향으로 가이드홈을 형성하되 상기 가이드홈에는 셔터를 구성하는 마스크의 양쪽이 끼워지게 하고, 상기 가이드 프레임의 일측에는 상하측으로 각각 마스크에 연결된 이송바를 설치하되 상기 이송바는 모터로 회전되는 이송스크류에 끼워져 이동되게 하고, 상기 이송바는 LM가이드를 타고 이동되게 하는 한편 마스크도 LM 가이드를 타고 이동되게 하고, 상기 셔터는 이동 프레임을 타고 이동되게 함으로써 이루어진다.

대표청구항 ▼

진공챔버에서 송출롤(20)에 감긴 유연성 기판(10)에 증착물질이 증착된 후 회수롤(30)에 감기는 롤투롤 진공 증착시스템에서, 유연성 기판(10)의 하부 양측면으로 ∩자의 이동 프레임(40)(41)을 설치하되 유연성 기판(10)은 이동 프레임(40)(41) 사이에서 이동되고, 상기 이동 프레임(40)(41)은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자의 이동홈(42)을 형성하고, 상기 이동홈(42)에는 여러 개의 조각셔터(53)를 연결하여 곡선 부위의 이동이 가능한 셔터(50)(50')를 설치하되 상기 조각셔터(53)의 양쪽에는 이동 프레임(4

진공챔버에서 송출롤(20)에 감긴 유연성 기판(10)에 증착물질이 증착된 후 회수롤(30)에 감기는 롤투롤 진공 증착시스템에서, 유연성 기판(10)의 하부 양측면으로 ∩자의 이동 프레임(40)(41)을 설치하되 유연성 기판(10)은 이동 프레임(40)(41) 사이에서 이동되고, 상기 이동 프레임(40)(41)은 서로 대향되는 방향으로 ㄷ자의 이동홈(42)을 형성하고, 상기 이동홈(42)에는 여러 개의 조각셔터(53)를 연결하여 곡선 부위의 이동이 가능한 셔터(50)(50')를 설치하되 상기 조각셔터(53)의 양쪽에는 이동 프레임(40)(41)의 이동홈(42)에 끼워지는 이동롤러(54)를 설치하고, 상기 이동 프레임(40)(41)의 상부에는 수평 방향으로 가이드홈(45)을 형성하되 상기 가이드홈(45)에는 셔터(50)(50')의 선단에 결합되는 마스크(51)(52)가 끼워진 채로 이동되게 하고,상기 이동 프레임(40)의 상부 일측에는 상하측으로 각각 마스크(51)(52)에 연결된 이송바(61)(62)를 설치하되 상기 이송바(61)(62)는 모터(63)(64)로 회전되는 이송스크류(65)(66)에 끼워져 이동되게 하고, 상기 마스크(51)(52)의 일측에 연결된 이송바(61)(62)는 LM 가이드(71)(72)를 타고 이동되게 하는 한편 마스크(51)(52)의 타측도 LM 가이드(73)(74)를 타고 이동되게 하고,상기 셔터(50)(50')는 이동 프레임(40)(41)을 타고 이동하게 구성되는 것을 특징으로 하는 롤투롤 진공 증착시스템의 셔터장치.