초록 ▼

본 발명은 공정 챔버에서 배출되는 배기가스가 유동하는 배관의 이음부에 배치되어 배기가스가 신속하게 유동할 수 있도록 하는 센터링 및 이를 포함하는 배관 유닛 관한 것으로, 내부 둘레 지름이 상기 배관의 지름과 같은 몸체, 상기 몸체의 중심에 배치되어 있는 중심부재 및 상기 중심부재와 상기 몸체를 연결하는 유도부재를 포함하며, 상기 유도부재는 상기 중심부재의 원주 방향을 따라 배열되어 있으며, 유선형 곡면을 갖다.따라서, 배관의 내부 둘레에 파우더가 고착되지 않게 하여 배관의 막힘 현상을 효과적으로 방지할 수 있으며, 배관의 막힘에

본 발명은 공정 챔버에서 배출되는 배기가스가 유동하는 배관의 이음부에 배치되어 배기가스가 신속하게 유동할 수 있도록 하는 센터링 및 이를 포함하는 배관 유닛 관한 것으로, 내부 둘레 지름이 상기 배관의 지름과 같은 몸체, 상기 몸체의 중심에 배치되어 있는 중심부재 및 상기 중심부재와 상기 몸체를 연결하는 유도부재를 포함하며, 상기 유도부재는 상기 중심부재의 원주 방향을 따라 배열되어 있으며, 유선형 곡면을 갖다.따라서, 배관의 내부 둘레에 파우더가 고착되지 않게 하여 배관의 막힘 현상을 효과적으로 방지할 수 있으며, 배관의 막힘에 따른 진공 펌프의 손상, 배기가스의 역류에 의한 공정 불량 등과 같은 추가적인 문제를 방지할 수 있다.

대표청구항

공정 챔버에서 배출되는 배기가스가 유동하는 배관의 이음부에 배치되어 배기가스가 신속하게 유동할 수 있도록 하는 것으로,내부 둘레 지름이 상기 배관의 지름과 같은 몸체,상기 몸체의 중심에 배치되어 있는 중심부재 및상기 중심부재와 상기 몸체를 연결하는 유도부재를 포함하고,상기 유도부재는 상기 중심부재의 원주 방향을 따라 배열되어 있으며, 유선형 곡면을 가지며, 상기 중심부재의 양단과 상기 유도부재의 입구단과 출구단은 상기 몸체의 양측으로 돌출되어 있고, 상기 중심부재의 양단은 상기 입구단 및 상기 출구단으로부터 돌출되어 있는센터링.

공정 챔버에서 배출되는 배기가스가 유동하는 배관의 이음부에 배치되어 배기가스가 신속하게 유동할 수 있도록 하는 것으로,내부 둘레 지름이 상기 배관의 지름과 같은 몸체,상기 몸체의 중심에 배치되어 있는 중심부재 및상기 중심부재와 상기 몸체를 연결하는 유도부재를 포함하고,상기 유도부재는 상기 중심부재의 원주 방향을 따라 배열되어 있으며, 유선형 곡면을 가지며, 상기 중심부재의 양단과 상기 유도부재의 입구단과 출구단은 상기 몸체의 양측으로 돌출되어 있고, 상기 중심부재의 양단은 상기 입구단 및 상기 출구단으로부터 돌출되어 있는센터링.