초록

기판 지지 보트를 개시한다.일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 사이 공간에 기판이 위치하도록, 서로 이격되는 한 쌍의 플레이트; 양측이 각각 한 쌍의 플레이트에 연결되는 샤프트를 포함하는 연결부; 및 상기 샤프트의 외주면을 감싸고, 원주방향을 따라 형성되는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함할 수 있다.

대표청구항 ▼

길이 방향을 가지고, 이격된 상태로 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되고, 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 위치한 기판의 가장자리를 지지하기 위한 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되고, 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함하고,상기 연결부는 하나의 기판을 기준으로,상기 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트;상기 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트; 및상기 제1샤프트 및 제2샤프트 사이에 위치하고, 상기

길이 방향을 가지고, 이격된 상태로 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되고, 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 위치한 기판의 가장자리를 지지하기 위한 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되고, 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함하고,상기 연결부는 하나의 기판을 기준으로,상기 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트;상기 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트; 및상기 제1샤프트 및 제2샤프트 사이에 위치하고, 상기 기판 가장자리의 하측을 지지하는 제3샤프트를 포함하고,상기 지지튜브는,전도성 재질로 형성되는 제1지지튜브; 및비전도성 재질로 형성되는 제2지지튜브를 포함하고,상기 제1샤프트 및 제3샤프트에는 길이방향을 따라 복수의 상기 제1지지튜브 및 제2지지튜브가 교호하여 반복적으로 연결되는, 기판 지지 보트.