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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-0165805 (2019-12-12) | |
공개번호 | 10-2021-0074762 (2021-06-22) | |
등록번호 | 10-2365214-0000 (2022-02-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020190165805 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2019-12-12) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
기판 지지 보트를 개시한다.일 실시 예에 따른 기판 지지 보트는, 사이 공간에 기판이 위치하도록, 서로 이격되는 한 쌍의 플레이트; 양측이 각각 한 쌍의 플레이트에 연결되는 샤프트를 포함하는 연결부; 및 상기 샤프트의 외주면을 감싸고, 원주방향을 따라 형성되는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함할 수 있다.
길이 방향을 가지고, 이격된 상태로 배치되는 한 쌍의 플레이트; 및양측이 상기 한 쌍의 플레이트에 교체 가능하게 연결되고, 상기 한 쌍의 플레이트 사이에 위치한 기판의 가장자리를 지지하기 위한 복수의 샤프트를 포함하는 연결부; 및상기 샤프트의 외면을 감싸도록 연결되고, 상기 기판의 가장자리가 끼워지는 삽입홈이 외면에 형성되는 지지튜브를 포함하고,상기 연결부는 하나의 기판을 기준으로,상기 기판 가장자리의 일측을 지지하는 제1샤프트;상기 기판 가장자리의 타측을 지지하는 제2샤프트; 및상기 제1샤프트 및 제2샤프트 사이에 위치하고, 상기
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