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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0068125 (2021-05-27) | |
공개번호 | 10-2022-0160224 (2022-12-06) | |
등록번호 | 10-2578550-0000 (2023-09-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210068125 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-05-27) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 반도체 제조장치용 부품 및 내열소재에 관한 것으로, 본 발명의 반도체 제조장치용 부품은, 상기 부품은, 단면 상 다수의 층의 단차를 포함하며, 상기 다수의 층은, 플라즈마에 노출되는 제1 면과 상기 반도체 제조장치에 안착되는 제2 면을 포함하는 것이다.
반도체 제조장치용 부품으로서,상기 부품은, 단면 상 다수의 층의 단차를 포함하며,상기 다수의 층은, 플라즈마에 노출되는 제1 면과 상기 반도체 제조장치에 안착되는 제2 면을 포함하는 것이고,상기 제1 면은 동일 증착면이고, 증착층의 경계가 플라즈마에 노출되지 않는 것인,반도체 제조장치용 부품.
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