초록 ▼

본 발명은 수지에 기포가 생성되는 것을 방지하여 양품의 패턴이 형성된 기판을 제공할 수 있는 임프린팅 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 일면에 패턴이 형성되고 일방향으로 이동되는 소프트 몰드, 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하는 수지 공급부, 공급된 수지가 기판의 상면에 접하도록 소프트 몰드의 타면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 임프린팅 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 소프트 몰드의 일면에 직접 수지를 공급하고, 수지가 공급된 소프트 몰드를 기판에 수지가 접하도록 가압한 후 수지를 경화시키는 임프린팅 방법을

본 발명은 수지에 기포가 생성되는 것을 방지하여 양품의 패턴이 형성된 기판을 제공할 수 있는 임프린팅 장치 및 방법에 관한 것이다. 이를 위하여 본 발명은 일면에 패턴이 형성되고 일방향으로 이동되는 소프트 몰드, 소프트 몰드의 일면에 수지를 공급하는 수지 공급부, 공급된 수지가 기판의 상면에 접하도록 소프트 몰드의 타면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 임프린팅 장치를 제공한다. 또한, 본 발명은 소프트 몰드의 일면에 직접 수지를 공급하고, 수지가 공급된 소프트 몰드를 기판에 수지가 접하도록 가압한 후 수지를 경화시키는 임프린팅 방법을 제공한다.

대표청구항

일면에 패턴부(111)가 형성되는 소프트 몰드(110);상기 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)를 공급하는 수지 공급부(400);공급된 상기 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 상기 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하는 가압롤러(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.

일면에 패턴부(111)가 형성되는 소프트 몰드(110);상기 소프트 몰드(110)의 패턴부(111)가 형성된 일면에 수지(120)를 공급하는 수지 공급부(400);공급된 상기 수지(120)가 기판(S)의 상면에 접하도록 상기 소프트 몰드(110)의 타면을 가압하는 가압롤러(230);를 포함하는 것을 특징으로 하는 임프린팅 장치.