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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0007290 (2022-01-18) | |
공개번호 | 10-2022-0106062 (2022-07-28) | |
등록번호 | 10-2672043-0000 (2024-05-30) | |
우선권정보 | 대한민국(KR) 1020210008457 (2021-01-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220007290 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-01-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 탄화규소 재생 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 화학적 기상 증착 공정(CVD)으로 탄화규소를 흑연 지지체 상에 증착하여, 탄화규소 벌크를 형성하는 단계; 증착된 상기 탄화규소 벌크를 반제품으로 회수하는 단계; 회수된 상기 반제품에 제1 산처리를 수행하는 단계; 상기 제1 산처리 공정이 수행된 상기 반제품을 조크러셔를 이용해 분쇄하여, 탄화규소 조각들을 생성하는 단계; 및 상기 탄화규소 조각들 중 물리적 기상 수송 공정(PVT)의 원료로 사용될 탄화규소 입자들을 선별하는 단계를 포함한다.
화학적 기상 증착 공정(CVD)으로 탄화규소를 흑연 지지체 상에 증착하여, 탄화규소 벌크를 형성하는 단계;증착된 상기 탄화규소 벌크를 반제품으로 회수하는 단계;회수된 상기 반제품에 질산을 10 wt% 내지 50 wt% 농도로 포함하는 산 용액을 이용하여, 48시간 내지 80시간 동안 제1 산처리를 하여, 상기 반제품의 굴곡강도를 감소시키는 제1 산처리를 수행하는 단계;상기 제1 산처리 공정이 수행된 상기 반제품을 조크러셔를 이용해 분쇄하여, 탄화규소 조각들을 생성하는 단계; 및상기 탄화규소 조각들 중 물리적 기상 수송 공정(PVT)
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