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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0023876 (2022-02-23) | |
등록번호 | 10-2523346-0000 (2023-04-14) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220023876 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-02-23) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
탄화규소 웨이퍼의 제조방법이 개시된다. 탄화규소 웨이퍼의 제조방법은 도가니 내에 탄화규소 블럭을 배치하는 단계; 상기 탄화규소 블럭에 포함된 탄화규소를 승화시켜서, 탄화규소 잉곳을 형성하는 단계; 및 상기 탄화규소 잉곳을 가공하는 단계를 포함한다.
도가니 내에 탄화규소 블럭을 배치하는 단계;상기 탄화규소 블럭에 포함된 탄화규소를 승화시켜서, 탄화규소 잉곳을 형성하는 단계; 및상기 탄화규소 잉곳을 가공하는 단계를 포함하고,상기 탄화규소 블럭은 100㎤ 이상의 겉보기 부피를 가지고,상기 탄화규소 블럭의 외주면 및 상기 도가니의 내부면 사이에 승화된 탄화규소 기체가 이동할 수 있는 제 1 유로가 형성되고,상기 탄화규소 블럭은 적어도 일 방향으로 10 W/mK 이상의 열전도율을 가지는 탄화규소 웨이퍼의 제조방법.
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